硫酸技術   by T.Ono
 各種硫酸製造法-2
 
4.精製硫酸
不純物を嫌う蓄電池用その他の特殊な用途に使用されます。

製造プロセスとしては、転化器からの含SO3ガスをグラスライニング又はパイレックスガラスで作られた吸収塔に通して製造します。 (排ガスは排ガス除害塔へ送ります)
塔、充填物、ポンプタンク、酸ポンプ、酸クーラーは基本的な構造は工業用濃硫酸の製造設備と同じですが、材質が異なるものもあります。
塔はかってはパイレックスガラスが主流でしたが、コストの面で最近はグラスライニングが用いられているようです。 ポンプタンクや配管もグラスライニングです。
充填物は、耐酸磁器又はガラスです。 耐酸磁器の場合、スーパーインタロクスサドルを使用すれば塔径を小さくできますが、製品への破片の混入がなかなかなくならないというトラブルの恐れがあります。 このような場合、高価ですがテフロン製のスーパーインタロクスサドルを使用するということも考えられます。
ポンプは、テフロンライニングノンシールマグネットポンプが良いでしょう。
酸クーラーは、テフロンシェル・チューブ熱交換器です。

金属の不純物は、製造装置をグラスライニングなどにすることにより防げますが、プロセスガスに起因する硝酸根(NOx)やSO2は防げません。
NOxはヒドラジンなどの還元剤を添加することにより、SO2は製品をクリーンエアにより曝気することにより除去することが可能です。

貯蔵タンクとしては、ポリエチレン(ダイライト)が価格的に有利なので近年はよく使われています。
5.半導体用高純度硫酸(ELグレード硫酸)
特に高純度を要求する(不純物はppb、pptレベル)半導体、液晶などの電子材料の製造に使用される高純度硫酸です。
各社、製造方法は秘密になっているようですのでここでも詳述は避けますが、SO3源としては転化器からのガスは使えない(ダスト、SO2など不純物が多い)ため、発煙硫酸の蒸留や減圧蒸発により高純度SO3を得、これを超純水に吸収させて製造しているようです。
計装空気など製品に接する可能性のある空気はすべて高性能フィルターを通して粉塵を除去したものを使用します。
また、当然ですが製造装置には不純物の溶出のないテフロンその他の特殊な材料を使用しています。

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